產(chǎn)業(yè)鏈漸入佳境，廈門第三代半導(dǎo)體“蓄勢待發(fā)”

來源:工商時報

       無論從科技還是經(jīng)濟的角度，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有著無法替代的重大戰(zhàn)略意義，屬于國民經(jīng)濟的基礎(chǔ)性支撐產(chǎn)業(yè)。而在國務(wù)院發(fā)布的《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中，第三代半導(dǎo)體被列為國家面向2030年重大項目之一。
　　
　　近年來全國各地均在加速布局發(fā)展第三代半導(dǎo)體，目前初步形成了以京津冀、長三角、珠三角、閩三角為主的幾大重點發(fā)展區(qū)域。其中，身處閩三角腹地的廈門，產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)扎實且發(fā)展迅速，已成為中國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)版圖中的重要一極。
　　
　　2019年，廈門市科技局啟動“未來產(chǎn)業(yè)培育工程”，對十大未來產(chǎn)業(yè)進行搶先布局，第三代半導(dǎo)體就是其中之一。
　　
　　事實上，廈門已布局第三代半導(dǎo)體多年。早在2011年，瀚天天成便在廈門火炬高新區(qū)成立，它是國內(nèi)首家產(chǎn)業(yè)化3/4/6英寸SiC外延晶片生產(chǎn)商，2020年獲華為哈勃投資入股。
　　
　　目前，廈門市SiC功率電力電子已初步形成了涵蓋外延、芯片、器件、組件和應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)鏈，擁有三安集成、瀚天天成、芯光潤澤等代表性企業(yè)；而在GaN微波射頻領(lǐng)域，已形成上中下游的初步產(chǎn)業(yè)化能力。
　　
　　化合物半導(dǎo)體市場政策
　　
　　Developmentpoliciesandobjectives
　　
　　發(fā)展目標(biāo)
　　
　　Developmentpoliciesandobjectives
　　
　　形成國內(nèi)極具集聚和輻射效應(yīng)的研發(fā)、制造、品牌和運營基地，到2021年，力爭實現(xiàn)產(chǎn)值200億元。
　　
　　發(fā)展優(yōu)勢
　　
　　Developmentadvantages
　　
　　區(qū)位優(yōu)勢
　　
　　憑借得天獨厚的對臺區(qū)位優(yōu)勢，廈門與臺灣第三代半導(dǎo)體業(yè)界的合作交流廣泛。廈門在市場、制造、資金等方面有優(yōu)勢，而臺灣則具有人才、管理、技術(shù)等優(yōu)勢，兩岸合作可以形成良好的產(chǎn)業(yè)互補。
　　
　　科教優(yōu)勢
　　
　　廈門大學(xué)擁有國家集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng)新平臺，該校電子學(xué)科也具有悠久的歷史，是我國最早成立半導(dǎo)體學(xué)科的高校之一。同時，2018年教育部正式批復(fù)同意將廈門大學(xué)微電子學(xué)院列入國家示范性微電子學(xué)院籌建單位。在第三代半導(dǎo)體方面，廈門大學(xué)與三安光電共建了第三代半導(dǎo)體產(chǎn)教融合分平臺，開展戰(zhàn)略性、前瞻性、基礎(chǔ)性、綜合性科技創(chuàng)新，以及人才培養(yǎng)合作。
　　
　　營商環(huán)境優(yōu)勢
　　
　　《新華每日電訊》頭版曾刊登過《廈門:構(gòu)建一流營商環(huán)境助力“大招商招大商”》文章，在士蘭微化合物半導(dǎo)體項目落戶廈門海滄的過程中，從簽訂土地出讓合同到拿到施工許可證，僅花了5天時間。
　　
　　長期以來，廈門高度重視營商環(huán)境建設(shè)，從2015年起對標(biāo)新加坡等先進經(jīng)濟體，參照世界銀行評價標(biāo)準(zhǔn)體系，著力打造國際一流的營商環(huán)境。
　　
　　以企業(yè)用電為例，去年以來，廈門企業(yè)辦電成本持續(xù)降低。廈門在全國首推用電容量1250千伏安及以下中小微企業(yè)電力外線建設(shè)由政府財政全額出資政策，企業(yè)外線“零投資”，目前已有28家企業(yè)享受補貼700萬元。
　　
　　此外，廈門供電質(zhì)量始終保持國內(nèi)領(lǐng)先。2019年廈門城市供電可靠性在全國50個主要城市中排名第一，今年一季度廈門供電可靠率在國家電網(wǎng)公司排名第一，為廈門高能級招商引資、金磚創(chuàng)新合作提供了更加堅實可靠的保障。另據(jù)測算，按世界銀行營商環(huán)境“獲得電力”指標(biāo)，廈門已躍升至相當(dāng)于全球第9位。
　　
　　營商環(huán)境日益優(yōu)化，內(nèi)資外資青睞廈門，一大批優(yōu)質(zhì)產(chǎn)業(yè)項目紛至沓來，為推動廈門實現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的強大活力。
　　
　　LED產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢
　　
　　作為國家LED外延芯片及LED球泡燈等科技產(chǎn)業(yè)最重要的集聚地和輻射地之一的廈門，在發(fā)展第三代半導(dǎo)體上更具先天優(yōu)勢。
　　
　　GaN是LED領(lǐng)域重要的外延材料，LED企業(yè)基于其自身對材料的理解，布局GaN/SiC等化合物半導(dǎo)體材料，可以說是近水樓臺。此前，國家第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲在接受媒體采訪時表示，三安光電、乾照光電、士蘭明鎵等LED龍頭企業(yè)正加速往第三代半導(dǎo)體轉(zhuǎn)型升級。
　　
　　廈門發(fā)展第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，一方面可以豐富半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的內(nèi)涵和外延，另外一方面可以構(gòu)建具有廈門特色的未來產(chǎn)業(yè)和自主知識產(chǎn)權(quán)，前瞻思維和戰(zhàn)略眼光必將讓廈門躋身我國第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的第一方陣和排頭兵。
　　
　　重點企業(yè)
　　
　　Keyenterprises
　　
　　三安光電
　　
　　全球LED芯片龍頭
　　
　　國內(nèi)化合物半導(dǎo)體IDM龍頭
　　
　　子公司廈門三安集成專業(yè)從事Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體(GaAs/GaN/SiC)等材料的研發(fā)制造，目前已形成微波射頻、電力電子、光通信等三大技術(shù)平臺，產(chǎn)品主要應(yīng)用于照明、顯示微波射頻、激光通訊、功率器件等領(lǐng)域。
　　
　　2014年三安集成在廈門率先建設(shè)國內(nèi)第一條6吋化合物半導(dǎo)體民用產(chǎn)線。2016年與GCS合資設(shè)立廈門三安環(huán)宇專注于化合物射頻PA代工，2017年公司HBT工藝通過重點客戶產(chǎn)品認(rèn)證，2018年三安集成宣布推出國內(nèi)第一家6英寸SiC晶圓代工制程，且全部工藝鑒定試驗已完成。
　　
　　同時，三安光電還與華芯投資管理（大基金的唯一管理機構(gòu)）等四方建立戰(zhàn)略合作關(guān)系，大力支持該公司的發(fā)展以Ⅲ-V族化合物半導(dǎo)體為重點的集成電路業(yè)務(wù)。2019年，三安與美的集團合作成立第三代半導(dǎo)體聯(lián)合實驗室，將通過研發(fā)第三代半導(dǎo)體功率器件導(dǎo)入白色家電，凝聚雙方的科研力量共同推動第三代半導(dǎo)體功率器件的創(chuàng)新發(fā)展。2020年與金龍汽車在廈門簽署了戰(zhàn)略合作框架協(xié)議，共同推進SiC功率器件在新能源客車電機控制器、輔驅(qū)控制器的樣機試制以及批量應(yīng)用。
　　
　　三安集成長沙SiC制造基地下半年啟動投產(chǎn)。著眼于2025年電動智能汽車爆發(fā)市場，其提前布局SiC產(chǎn)能，于湖南長沙投資建設(shè)千畝制造基地，一期工程已于2021年1月全面封頂，4月機臺陸續(xù)進廠調(diào)試，下半年將啟動投產(chǎn)，預(yù)計年產(chǎn)達40萬片6吋SiC晶圓。長沙基地垂直整合了自襯底材料-外延生長-晶圓制造-到封裝測試等環(huán)節(jié)，提高成本效益，縮短產(chǎn)品迭代周期，加速寬禁帶半導(dǎo)體在電動智能汽車領(lǐng)域的普及。
　　
　　瀚天天成
　　
　　國內(nèi)SiC外延片龍頭
　　
　　國內(nèi)首家商業(yè)化3/4/6英寸SiC外延片供應(yīng)商，2020年獲華為哈勃投資入股。不僅承擔(dān)了一項國家科技重大專項（02專項）項目和兩項國家863課題項目，同時還與株洲中車時代電氣股份有限公司建立合作，為其提供3300VSiC功率器件的外延片，極大提升動車組的整體性能和工作效率。
　　
　　今年3月，瀚天天成聯(lián)合電子科技大學(xué)、中科院、重慶偉特森等，突破了SiC材料深槽刻蝕填充的世界性難題，成功研發(fā)出具有優(yōu)越填隙能力的SiC超結(jié)制造工藝。
　　
　　芯光潤澤
　　
　　國內(nèi)主要SiC智能功率模塊(IPM)量產(chǎn)企業(yè)
　　
　　專業(yè)從事SiC功率模塊研發(fā)及制造產(chǎn)業(yè)化，依托自有已申請的多項包含電路設(shè)計，制造，封裝等功率組件相關(guān)專利已籌建首批專業(yè)性SiC國家級實驗室。
　　
　　芯光潤澤在航天航空、光伏、智能電網(wǎng)、軌道交通、新能源汽車、家電等相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域，已經(jīng)與行業(yè)巨頭進行合作并成立相關(guān)模塊公司。
　　
　　士蘭明鎵母公司士蘭微是國內(nèi)規(guī)模最大的集成電路IDM企業(yè)之一
　　
　　由杭州士蘭微與與廈門半導(dǎo)體投資集團有限公司共同投資成立，從事化合物半導(dǎo)體器件研發(fā)、制造，主要產(chǎn)品包括第三代化合物功率半導(dǎo)體器件、5G與射頻相關(guān)模塊、高端LED芯片產(chǎn)品。12月其承擔(dān)的“硅基GaN器件與集成電路工藝融合技術(shù)研究”課題已通過綜合績效評價。
　　
　　延續(xù)其在硅基器件的發(fā)展思路—產(chǎn)線建設(shè)與研發(fā)并行，有望為其在第三代半導(dǎo)體的發(fā)展積累一些先發(fā)優(yōu)勢。此外，相較于難度更高的SiC襯底器件，公司先從硅基氮化鎵切入，能夠整合公司現(xiàn)有硅基器件的技術(shù)積累，技術(shù)難度相對較小，有利于快速實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。
　　
　　華天恒芯
　　
　　致力于SiC器件研發(fā)、制造
　　
　　具備650V/1200V/1700VSiC肖特基二極管的能力。